事件：近日，天準科技參股的秀克州矽行半導體宣佈首臺面向12 英寸晶圓65-90nm技術節點的寬波段明場缺陷檢測設備TB1000 正式交付客戶。

突破半導體前道關鍵環節，明場缺陷檢測大有可為。前道明場缺陷檢測能夠檢測廣泛的缺陷類型，是半導體前道最為關鍵的一環。公司此次交付的TB1000 實現了精密光機電核心部件的自主可控，採用了先進的信號處理算法提高信噪比，顯著提升檢測靈敏度。根據我們測算2022 年大陸半導體量檢測設備是市場規模為30 億美元左右，其中納米圖形缺陷檢測預計是價值量最高的環節，而科磊為首的海外巨頭幾乎壟斷市場，國產化替代空間極大。對天準科技來說，TB1000 的交付是半導體明場缺陷檢測設備業務的重大突破，後續發展十分值得期待。

半導體業務關鍵一步，有望加速半導體領域發展。2020 年公司啟動收購德國MueTec 是半導體擴張藍圖的第一步。除了提供MueTec 原有的Overlay 量測、CD 量測、宏觀缺陷檢測等多款設備外，公司與MueTec 加強在研發和市場上的合作，更高規格的Overlay 產品和知名客戶拓展陸續取得成功。公司推動成立的矽行半導體是公司半導體藍圖的另一重要組成部分，此次TB1000 的成功交付進一步完善了公司在半導體領域的產品版圖，有望加速整體半導體事業的成長，是公司半導體事業發展的又一裡程碑。

投資建議：我們預計2023-2025 年實現收入19.7/25.2/31.1 億元，實現歸母淨利潤2.13/2.90/3.45 億元，以8 月9 日市值對應PE 分別為38/28/23 倍，維持 “買入”評級。

風險提示：客戶出貨不及預期、消費電子客戶創新不及預期、產品研發不及預期