SAN LUIS OBISPO, Kalifornien, 28. Juli 2023 /PRNewswire/ -- Dieser geplante Kauf, der im vierten Quartal 2023 an Senic ausgeliefert werden soll, stärkt die Position der 6EZ als die flexibelste chemisch-mechanische Planarisierungs-Plattform (Chemical Mechanical Polishing, CMP), die für die Herstellung von Siliziumkarbid (SiC)-Substraten und die Fertigung von Bauelementen wie SiC-basierten MOSFETs verfügbar ist.
Mit der kürzlich erfolgten Freigabe des 200 mm messenden 6EZ-Umbausatzes kann das Gerät die Herstellung von 150 und 200 mm SiC-Substraten in der Senic-Anlage in Cheonan, Südkorea, unterstützen.
Das 6EZ CMP-System wurde zusammen mit der SiC-Poliermaschine 7AF-HMG von Revasum entwickelt, um Beschädigungen unterhalb der Oberfläche durch Polieren zu entfernen. Die 6EZ bietet minimale Gesamtdickenschwankungen (Total Thickness Variation, TTV) auf dem Wafer und eine Oberflächenrauheit (RA) in der Größenordnung von 1,5 Angström.
Chris Sloan, Vizepräsident für den weltweiten Vertrieb und Marketing bei Revasum, kommentierte die sich entwickelnde Partnerschaft mit diesem strategischen Kunden in Südkorea wie folgt: ,,Dies ist ein wichtiger nächster Schritt für Revasum in der wirklich globalen Wettbewerbslandschaft der Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten. Die Nachfrage nach Siliziumkarbid-Bauelementen zwingt die internationalen Lieferketten dazu, sich abzustimmen, um die Bemühungen zu unterstützen, und wir freuen uns, mit unserer branchenführenden 6EZ CMP-Plattform eine Partnerschaft mit dem innovativen Team von Senic einzugehen."
HerrJ.D. Seo, Senics Vizepräsident des Geschäftsbereichs Halbleiter erklärte dazu: ,,Wir glauben, dass diese Partnerschaft positive Synergien zwischen den beiden Unternehmen schaffen wird. Durch das 6EZ CMP-System von Revasum wird Senic in der Lage sein, seinen Kunden SiC-Wafer mit besserer Oberflächenqualität zu liefern. Da sich das 6EZ bereits in der Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten bewährt hat, sind wir der Meinung, dass das 6EZ-System die beste Option für Senic ist, um unsere Produktion steigern und somit den globalen Anforderungen der Branche gerecht zu werden."
Informationen zu Revasum, Inc.:
Revasum ( stellt Investitionsgüter für die Halbleiterherstellung her. Unser aktuelles Produktportfolio umfasst Polier- und chemische mechanische Polierausrüstung zur Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten sowie Geräte für die weltweite Halbleiterindustrie.
Informationen zu SENIC, Inc
SENIC ( ist ein weltweit tätiges Unternehmen, das innovative Siliziumkarbid-Wafer herstellt und seinen Sitz in Cheonan in Südkorea hat. Das Unternehmen stellt 150 mm und 200 mm messende Siliziumkarbid (SiC)-Ingots und -Substrate für HF und Power Electronics sowie Aufbereitungsdienste für SiC-Wafer bereit.
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SOURCE Revasum