SAN LUIS OBISPO, Kalifornien, 12. Juli 2023 /PRNewswire/ -- Revasum gab heute die Veröffentlichung von Verbesserungen der Systemsteuerungssoftware für sein Spitzenprodukt, das Siliziumkarbid-(SiC)-CMP-Werkzeug 6EZ bekannt, die den Durchsatz des Systems um mehr als 20 % erhöhen. Die Verbesserungen des Durchsatzes sind in unserer neuesten SW-Version 3.1 enthalten und umfassen eine Reihe von Verbesserungen in der 6EZ-Wafer-Handling-Steuerungssoftware. Das Upgrade wurde erfolgreich auf bestehenden 6EZ-Produktionssystemen in den Fabriken mehrerer Tier-1-Kunden eingesetzt. Diese Software reduziert die Betriebskosten des 6EZ pro Wafer für unsere Kunden erheblich.

„Die Wafer-Handling-Steuerungssoftware in den vorherigen 6EZ-Software-Versionen enthielt Wafer-Handling-Bewegungen, die für einige frühe SiC-Polieranleitungen optimiert waren, aber für die Produktionsmethoden, die derzeit von unseren Kunden eingesetzt werden, unnötige Einschränkungen bedeuteten. Durch die Beseitigung dieser Einschränkungen und die Implementierung anderer Verbesserungen beim Wafer-Handling, konnten wir den Durchsatz des Werkzeugs deutlich steigern, ohne dass die Zuverlässigkeit des Werkzeugs beeinträchtigt wird. Wir haben zudem sichergestellt, dass diese Verbesserungen die hervorragenden Prozessergebnisse der Produktionsmethoden, die unsere Kunden derzeit verwenden, nicht verändern", so Bill Kalenian, Vice President of Engineering bei Revasum.

„Nachdem wir unsere ursprünglichen Ziele erreicht hatten, einen zuverlässigen Betrieb mit hohem Volumen und wiederholbaren, hochwertigen Polierergebnissen auf harten SiC-Substraten zu demonstrieren, war es für Revasum an der Zeit, unseren Kunden eine höhere Produktivität zu ermöglichen, wenn sie auf höhere Wafer-Stückzahlen hinarbeiten. Die Version SW 3.1 ermöglicht eine signifikante Produktivitätssteigerung und verfügt über eine Reihe weiterer neuer Funktionen, die die Flexibilität und Zuverlässigkeit des 6EZ in der Großserienproduktion verbessern werden", bemerkte Scott Jewler, CEO von Revasum. „Die Software-Version 3.1 wurde bei mehreren führenden SiC-Substrat-Kunden installiert und für die Produktion freigegeben und wird bei zukünftigen Bestellungen vorinstalliert sein."

Informationen zu Revasum, Inc.:
Revasum ist auf die Planung und Herstellung von Schleif- und Poliermaschinen für die Halbleiterherstellung spezialisiert. Revasum hat sein bedeutendes Portfolio an geistigem Eigentum genutzt, um zwei Vorzeigeprodukte zu entwickeln, die von Grund auf für Siliziumkarbid entwickelt wurden. Die neuen Produkte sind für SiC-Wafergrößen bis zu 200 mm konfigurierbar.

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Bruce Ray
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SOURCE Revasum