SAN LUIS OBISPO, Kalifornien, 6. Juli 2023 /PRNewswire/ -- Revasum gab heute bekannt, dass das Polieren von 200-mm-SiC-Wafern jetzt auf der 6EZ-Plattform möglich ist. Die 6EZ hat sich bereits bei der Großserienfertigung von 150-mm-SiC-Substraten bewährt. Nun wurde ein 200-mm-Umbaukit vollständig getestet und auf den Markt gebracht, wodurch Kunden die Möglichkeit haben, die 6EZ-Systeme vor Ort aufzurüsten.
Dr. Fred Sun, Vizepräsident für Forschung, Entwicklung und Prozesstechnologie bei Revasum, sagte: „Obwohl die 6EZ von Anfang an auf das Polieren von 200-mm-Substraten ausgelegt war, waren wir aufgrund der Knappheit dieser größeren Substrate auf dem Markt bis vor kurzem nicht in der Lage, die Polierleistung bei 200-mm-Substraten vollständig umzusetzen. Das Werkzeug erzielte bei den 200-mm-Wafern unglaublich gute Leistungen – wir erreichten den gleichen PV-Betriebsbereich (Druck x Geschwindigkeit), den wir zuvor bei 150-mm-SiC-Wafern gesehen hatten, auch bei einer Verdopplung der zu polierenden Oberfläche."
Die 6EZ ist das erste CMP-Werkzeug für einzelne Wafer, das von Grund auf für das Polieren von SiC-Wafern entwickelt wurde. Die Architektur der 6EZ in Verbindung mit einer patentierten Kühltechnologie ermöglicht den höheren Anpressdruck und die gesteigerten Tischgeschwindigkeiten, die für CMP von harten Materialien wie SiC bevorzugt werden. Das firmeneigene ViPRR-Trägerdesign sichert den Wafer und minimiert die Polierreibung auf dem Pad, um eine reduzierte Pad-Konditionierung, eine bessere Wafer-zu-Wafer-Konsistenz und eine längere Lebensdauer der Verbrauchsmaterialien zu ermöglichen.
Scott Jewler, CEO von Revasum, erläuterte: "Wir glauben, dass das Polieren von erstklassigen SiC-Wafern einen anderen Ansatz für das Kopfdesign erfordert als die herkömmlichen membranbasierten Köpfe. Der Polierkopf sollte den Wafer in Position halten, während kontrollierter Druck auf die Rückseite des Wafers ausgeübt wird, um eine gleichmäßige hohe Abtragsrate mit gutem Wärmemanagement zu erzielen. Wir sind sehr zufrieden mit den Ergebnissen, die wir mit der 6EZ für 200-mm-SiC-Wafer erzielt haben, und ich bin überzeugt, dass unsere Kunden auch zu schätzen wissen, wie einfach das Werkzeug in einer hochvolumigen Produktionsumgebung bei dieser größeren Wafergröße zu warten ist."
Informationen zu Revasum, Inc.:
Revasum ist auf das Design und die Herstellung von Betriebsanlagen spezialisiert, die beim Herstellungsprozess von Halbleitersubstraten und -geräten verwendet werden. Unser aktuelles Produktportfolio umfasst den 7AF-HMG-Schleifer und die 6EZ-CMP-Plattform zur Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten in Größen bis zu 200 mm sowie die Verpackung von Geräten auf SiC-Basis für die globale Halbleiterindustrie.
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SOURCE Revasum